Special Gas

相關資料

❮ Dry Etch ❯

CH₃F / CH₂F₂ / CHF₃

C₂F₆ / C₄F₈ / C₃F₆

C₃F₈ / C₂HF₅

❮ Thin Film ❯

NF₃

PH₃

❮ Diffusion ❯

AsH₃

PH₃

❮ Implant ❯

PH₃ / H₂

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